（1）紫外照射法

        利用紫外線照射干燥的氧氣，使一部分氧分子被激活離解成氧原子，進而形成臭氧。紫外照射法產(chǎn)生臭氧的缺點是能耗高、臭氧濃度低，因此紫外照射法用于大量生產(chǎn)臭氧是不現(xiàn)實的。但是由于該方法重復性好，對溫度不敏感，且易通過燈功率的線性控制改變臭氧的產(chǎn)量。所以，對各種少量低濃度要求的試驗、空氣消毒、滅菌、除臭等還是適合的。

（2）電解法

        利用直流電源電解含氧電解質(zhì)產(chǎn)生臭氧。近年來，人們對這種方法進行了大量研究，電解法制臭氧技術(shù)有了很大的進步。目前，采用SPE(固態(tài)聚合物電解質(zhì))電極與金屬氧化催化技術(shù)電解純凈水可以得到14%以上的高濃度臭氧。電解法產(chǎn)生臭氧具有濃度較高、成份純凈、水中溶解度高的優(yōu)點。在醫(yī)療、食品加工與養(yǎng)殖業(yè)及家庭方面具有廣泛應(yīng)用前景，經(jīng)過進一步改進，設(shè)法降低成本和電耗后，有可能與目前廣泛使用的介質(zhì)阻擋放電法相競爭。

        利用各種放射源核輻射離解氧分子生成臭氧。該方法因采用放射源其成本高、安全性差，只適用于某些特殊情況，不適合于工業(yè)大量生成。

（4）介質(zhì)阻擋放電法(DBD: Dielectric Barrier Discharge)

        采用干燥的含氧氣體流過無聲放電的放電間隙發(fā)生臭氧的一種方法。這種方法具有能耗相對較低、單機臭氧產(chǎn)量大，氣源可用干燥空氣、氧氣或含氧濃度較高的富氧氣體等優(yōu)點，因此工業(yè)上合成臭氧大多采用此法。